是锗单晶?
■锗单晶 (Monocrystalline Germanium),是指不含大角晶界或孪晶的锗晶体。呈金刚石型晶体结构,是重要的半导体材料。
锗单晶制备方法
■锗单晶是以区熔锗锭为原料,用直拉法(CZ)法或者垂直梯度法(VGF法)等方法制备的锗单晶体。
■直拉法(CZ):拉晶前先将设备各部件、合金石英坩埚、锗锭和籽晶进行清洁处理。将锗经配料和掺杂,加入单晶炉的合金石英坩埚中,再经抽真空、熔化,在流通的氩气气氛下,人工引晶放肩和收尾。晶体的等径生长过程中,控制拉速、坩埚和籽晶转速等措施,以及自动控制炉温和单晶直径等技术使其获得直径均匀的产品。经检测、称量,制得锗单晶成品。
■悬浮区熔匀平法:所用的炉子为水平式石英管加热炉,能生产电阻率