白光干涉仪供应商,白光干涉仪批发,白光干涉仪价格,白光干涉仪图片AE-100M
产品用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含
产品特点
● 纳米深度3D检测
● 高速/无接触量
● 表面形状/粗糙度分析
● 非透明/透明材质皆适用
● 非电子束/非镭射的安全量测
● 低维护成本
级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)
● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度
● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。
● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解体软体(ImaScan)
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。
● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。
● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向
技术规格参数
型号 AE-100M
移动台(mm) 平台尺寸100*100 ,行程13*13
物镜放大倍率 10X 20X 50X
观察与量测范围 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066