产品分类 更多>>
旦顺COL-4class10级无尘烘箱，晶圆半导体专用300度无尘烘箱
一、Class 10无尘烘箱产品概述:
本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技术条件及相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
二、Class 10无尘烘箱主要技术指标：
2.1.无尘烘箱型号：COL-4
2.2无尘等级：Class 10
2.3温度范围： 60℃～ 300℃；
2.4温度均匀度：±1.5%;
2.5温度波动度：±0.5℃（空载）
2.6温控精度：±0.1℃;
2.7烘箱搁板为活动形式。
三、Class 10无尘烘箱箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁可防止微尘；
3.4内胆材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污及氩焊密封加工(防污染)。
3.6 保温材料：超细玻璃棉；
3.7排 气 口：ф50；
3.8加热方式：无尘加热器
3.9采平面水平由后向前送风后经美国H.E.P.A Filter 24
