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全自动
1.程序自动进行,一键扫描全板,每次扫描可测量多达数千个焊盘.
2.自动识别基准点标志,以修正基板装夹的位置差异.
3.扫描自动适应基板颜色和反光度,自主修正基板倾斜扭曲,自动识别目标.
高精度
1.分辨率提高到纳迷级,有效分辩率0.056微米
2.高重复精度0.5微米,认为误差小.
3.数字影像传输,抗干扰,自动纠错,准确度高.
4.高取样密度,每平方毫米上万点.
5.马达不经过齿轮或皮带,直接驱动丝杆定位精度高.
